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EPI Thermal Gas Mass Flow Meters 熱質式流量計擁有兩片峰槽式整流板，使配管前置量(UP STREAM)及後置量(DOWN STREAM)之直線距離縮到最短，即使再短窄的空間配管也可以達到精確量測。

表面潔淨度等級：UHP/EP 7-10 ra

洩漏測試： 1x10^-9 cc/秒 He (氦氣)

死角空間小

通過CAS/CUS 美國及加拿大安規認證 

ATEX 歐洲防爆認證

IECEx 國際電工委員會防爆電器防爆電器產品認證

KOSHA 韓國產業安全衛生組織認證

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