McMillan RHODIUM 氣體質量流量控制器
McMillan RHODIUM 氣體質量流量控制器
McMillan RHODIUM系列流量控制器能夠測量和控制幾乎任何乾淨、乾燥的氣體，範圍從0-50 sccm到0-10 Lpm。採用基於MEMS系統流速感測器裝置來實現可重複的結果，該感測器裝置製造時極為精密，以確保從一個單位到另一個單位的結果一致。
為了積極控制流速，RHODIUM單位利用高精度的PID控制器來控制快速作用的電磁閥。模擬輸入使氣體流量能夠直接、快速和準確地控制。集成的模擬輸出報告當前的流速，用於監控和控制驗證。
與傳統的品質流量控制器相比，RHODIUM系列流量控制器具有更小的尺寸、更高的準確性、更大的調幅比和更快的回應時間。
- 安裝
RHODIUM系列在設備底部有兩個內螺紋端口，可接受M4螺栓。還提供可選的安裝板，以從頂部安裝。
- 校準
RHODIUM系列是在垂直位置進行校準的。其他位置可能會根據壓力和氣體條件造成偏移。流動是單向的，必須按照設備上所示通過單元。所有單元都使用乾燥氮氣（N2）進行校準。
- 接線
所有電源和信號連接都提供了一個9針D型連接器。可選配件包括帶導線尾的配對電纜（9941-1-2M），提供螺釘式端子和用於電源適配器的端口的連接塊（9941-3），以及可與連接塊一起使用的120/240 VAC電源適配器（9681-4或9691-4）。
- 電源
RHODIUM系列單元需要24VDC電源，通常電流小於250 mA。
- 信號
有兩種I/O信號配置可用：0-5 VDC或4-20mA。在任何情況下，範圍的下限表示零流量（0 VDC或4 mA），範圍的上限表示額定流量的100%（5 VDC或20 mA）。
- 流體連接
每個單元均具有用於入口和出口的內螺紋 SAE 9/16-18 直螺紋端口。 選購配件配有 1/4” 或 3/8” 不鏽鋼 (316L) 管連接。
1.Flow Performance & Hardware
| Gas | |
| Flow Ranges | See Ordering Information for Flow Range Options |
| Gas Type | N2 |
| Calibration Conditions | |
| Standard Cubic Centimeters Per Minute | Reference Conditions: |
| T = 0° C | |
| P = 760 mmHG | |
| Performance | |
| Accuracy | ± 1.0 % F.S. |
| Repeatability | ± 0.015 % F.S. |
| Response Time | 4 ms |
| Settling Time | 150 ms |
| Control Range | 2% – 100% |
| Operating Conditions | |
| Temperature | 0 – 50° C |
| Humidity | 5 – 95 % R.H. |
| Pressure Range | 0 – 9 Bar (Operating) ; 30 Bar (Burst) |
| Differential Pressure | 0.5 – 3 Bar (Min) ; 7 Bar (Max) |
| Gas Compatibility | Non-aggressive Gases |
| Electronic Interface | |
| Analog Input | 0–5 VDC or 4–20 mA |
| Analog Output | 0–5 VDC or 4–20 mA |
| Fluid | |
| Leak Tightness | 1x 10-8 mBar l/s He |
| Wetted Materials | |
| Aluminum, Silicon, Silicon Nitride, Gold, Platinum, Silicone Die-attach, Epoxy, Stainless Steel, Brass, Viton® |
|
| Fittings | |
| Stainless Steel | 9/16-18 SAE – 1/4” or 3/8” Tube Fitting with O-Ring Seal |
2.Electrical Conditions
| Voltage Supply DC | Nominal | 24 V ± 10 % |
| Ripple | < 50 mV | |
| Current Supply DC | Typical | < 200 mA |
| Maximum | < 250 mA | |
| Warm-Up Time | Deviation < ± 0.1% F.S. | 3 sec |
| Optimum Accuracy | 15 min | |
| Analog Output | Resistive Load | > 2 K Ω |
| Capacitive Load | < 100 nF |
- 活性氣體稀釋和混合
- 質譜中的載氣調節
- 醫療器材的充氧
- 生物反應器和發酵槽的精密氣體注射
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